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      產品中心

      Centrotherm產品——真空焊接爐 更多…

      真空焊接爐 VLO6/VLO12
      Centrotherm VLO 6 真空焊接爐是為先進封裝和功率半導體領域應用而設計的,適用于小批量生產和的實驗室研發的要求。
      可以完成快速加熱和冷卻。
      真空焊接爐 VLO20
      Centrotherm VLO 20 真空焊接爐滿足高要求研發部門的同時,也滿足通過真空焊接技術實現無空洞焊接的小批量生產單位。
      真空焊接爐 VLO180/VLO300
      Centrotherm VLO180或VLO300真空焊接系統理想應用于大批量各種材料生產,溫度最高可達到750°C。整合的加熱和冷卻可以單獨控制。
      真空焊接爐 VLO HP
      VLO HP是centrotherm系列唯一的一款高壓系統,最大腔體壓力可達3bar。在焊接工藝中過壓系統具有正向壓力效果以減小空洞,像所有其他VLO系列一樣提供完全成熟的功能。

      Centrotherm——擴散爐與LPCVD 更多…

      E1200
      Centrotherm E1200小批量實驗室系統支持多種工藝能力,需要小批量生產和高性能用戶在較小占地面積
      E1550
      Centrotherm E1550 最優化系統支持多種工藝能力,需要中等生產能力和在一定尺寸安全上的高工藝性能的用戶,是可靠易于維修的臥式爐管平臺。
      E2000
      Centrotherm E2000大批量系統支持多種工藝能力,需要最高生產能力,高工藝性能的用戶并且提供原尺寸批量生產所有特征,是易于維修,安全可靠的臥式爐管平臺。
      Verticoo 200 垂直擴散爐
      Centrotherm Verticoo 200批量生產立式爐由單根爐管,雙舟上料機構以及高效全自動圓片傳遞機械手組成。

      Centrotherm——碳化硅高溫爐 更多…

      Activator 150 退火爐
      Centrotherm Activator150 高溫爐設計用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm獨特工藝爐管和加熱系統設計允許工藝溫度達到1850℃.
      Oxidator 150 氧化爐
      Oxidator 150 經過專業的研發,能夠滿足SIC圓片的高溫氧化工藝;同時亦可用于常規的硅圓片的氧化。Oxidator 150提供帶有氫氧合成系統的濕氧工藝。

      Centrotherm——DBC專用燒結爐 更多…

      DBC專用燒結爐
      設備具有以下專門針對高質量DCB生產的優勢特點:非常均勻的溫度均勻性、氧濃度的測量和控制系統、不產生顆粒灰塵的傳送系統

      半導體機械手系列 更多…

      PRI ATM 105 405 107……
      翻新流程:1.入庫外觀檢查和評估 2.更換和翻新 3.檢查如有需要則更換 4.老化測試 5.將翻新好的機械手和文件寄送給客戶 6.保修期3~6個月
      RORZE RR701 RR700 RR713
      翻新流程:1.入庫外觀檢查和評估 2.更換和翻新 3.檢查如有需要則更換 4.老化測試 5.將翻新好的機械手和文件寄送給客戶 6.保修期3~6個月
      Genmark GB4 GB8……
      翻新流程:1.入庫外觀檢查和評估 2.更換和翻新 3.檢查如有需要則更換 4.老化測試 5.將翻新好的機械手和文件寄送給客戶 6.保修期3~6個月
      BROOKS Z-BOT Z-BOT II
      翻新流程:1.入庫外觀檢查和評估 2.更換和翻新 3.檢查如有需要則更換 4.老化測試 5.將翻新好的機械手和文件寄送給客戶 6.保修期3~6個月

      冷泵及壓縮機 更多…

      Austin Cryo-Plex 10 低溫泵/冷泵
      考慮全面的高效設計,使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實現兩倍于8寸低溫泵的抽速,是理想的潔凈、無油高真空排氣方案
      標準應用:半導體、空間環境模擬、真空鍍膜以及各種研發領域
      M125 壓縮機
      驅動單臺8寸低溫泵

      WJ配件 更多…

      WJ--Injector Housing Overhaul
      設備制造商:AVIZA(WJ) 設備型號:WJ1000
      尺寸:150mm 200mm
      WJ Cable(Load/ Unload/ Return/ Manipulator)
      設備制造商:AVIZA(WJ) 設備型號:WJ-999, 1000, 1500
      尺寸:150mm,200mm

      德國賓德IGBT和其他功率器件封裝框架 更多…

      IGBT功率器件封裝模塊
      IGBT和其他功率器件封裝框架框架,底板,蓋子,高性能壓力機連接(受專利保護)更低的PCB成本,我們已經開發出一種流程以降低邊緣的沖壓,使我們能夠實現同比增加接觸面,節省更多的材料。

      德國 isel Robot 更多…

      IWH-F 3
       
      TA07S10F-1
       
      TA10S10F-1
      TA10S10HD F-1(3個連接手臂)
      TA10S10HDF-1
      雙臂F3

       

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